1. <nav id="n4kie"><b id="n4kie"></b></nav>

        <ins id="n4kie"><source id="n4kie"></source></ins><del id="n4kie"><source id="n4kie"></source></del>
        您好!歡迎光臨北京鐳測科技有限公司
        北京鐳測科技有限公司
        聯系我們
        北京鐳測科技有限公司
        聯系人:張女士
        電話:010-65661451
        郵箱:leice@leice.com
        地址:北京市朝陽區建華南路11號
        當前位置:首頁 > 新聞中心 > 行業新聞

        行業新聞

        雙頻激光干涉儀本身的噪聲評估和測量案例
        發布時間:2022-08-31瀏覽次數:11

        根據《雙頻激光干擾儀系統誤差概述》,雙頻激光干擾儀系統誤差大致由儀器誤差、幾何誤差(或安裝誤差)和環境誤差組成。在這三個誤差中,幾何誤差主要與光路調試和光程大小有關,一般從幾十納米到幾百納米;環境誤差幾乎與測試的環境參數(溫度、壓力、濕度等)成正比,通常達到幾十納米到幾微米;儀器誤差主要是指雙頻激光干擾儀器本身的誤差,一般可通過靜態噪聲進行評價。雙頻激光干擾儀器的儀器誤差可控制在2nm以下(3Sigma)。

        下圖為四軸干涉儀和五軸干涉儀的測試結果。測試條件如下:

        1、安裝四軸干涉儀和五軸干涉儀VC-E減振器上。

        2、光路溫度波動控制在0.01℃以下。

        3、采用1024細分VME系統分辨率為0.15nm。

        4、采樣頻率2KHz,連續取樣5分鐘matlab計算其3sigma值。

        69



        你覺得這篇文章怎么樣?

        0 0
        標簽:全部
        網友評論

        管理員

        該內容暫無評論

        南非網友
        4008168900
        无码区日韩特区永久免费系列